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电子行业气氛过滤 对集成电路的制程来说,粒径为线宽尺寸一半的尘土能招致产品致命的缺陷。因此,大于便是这个粒径的尘土被称为“致命尘土”,其最大允许浓度见左表中所列。
 
细致先容

    对集成电路的制程来说,粒径为线宽尺寸一半的尘土能招致产品致命的缺陷。因此,大于便是这个粒径的尘土被称为“致命尘土”,其最大允许浓度见左表中所列。当今最前沿的技术曾经要求致命尘土的平均浓度小于1个/m3。
    如今,基于0.25um~0.18um技术的集成电路制造在环球范围内普及。现有的气氛过滤产品和技术能对130nm以上的制造技术提供美满的操持方案。对付90nm以下的制程,微电子和气氛过滤两大业界的专家正积极研发相关技术,使之更成熟致使规范化、商品化。
    洁净室中,除了王中王资料一肖中特图早已知晓的尘土污染物外,分子级的气态污染物随着制程敏感度的矫捷降低而在短短几年内一跃成为污染控制存眷的中心。
    在微电子制造业,气氛中携带的可以或许危害消费工艺和产品并招致良率高涨或相关丧失的化学物质被称为“分子级污染物”(AMC)。
    AMC的源头
    AMC的源头十分“丰厚”和普及。已知的源头举例:
    微电子制程所用到的上百种挥发性/气体化学品;
    室内职员身体释放的化学物质,如氨气;
    洁净室构筑质料(包括黏结剂、防火涂层、面漆等)和机台及其附属布局散逸的气体,如王中王资料一肖中特图、顶棚、地板、用具、消费配置等所用质料挥发的化学物质;
    由MAU引入的新风,即室外污染,如二氧化硫、氮氧化物、臭氧、氨、无机气体、金属离子等。重要受左近环境汽车尾气、工农业、发电和取平和等配置所影响。
    微电子制程所用到的上百种挥发性/气体化学品;

 

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